Исследователь IBM Роберт Деннард в середине 1980-х годов
1974: Масштабирование правил проектирования процессов ИС количественно определено
Статья Роберта Деннарда, исследователя IBM, посвященная масштабированию процессов на МОП-памяти, ускоряет глобальную гонку за уменьшение физических размеров и производство все более сложных интегральных схем.
Линейное уменьшение размеров маски с каждым шагом вперед в литографических возможностях обеспечивало быстрое решение для повышения скорости и снижения стоимости ИС в 1960-х годах. Томас Стэнли из RCA Research Laboratories опубликовал анализ в 1962 году, отметив, что это было особенно актуально для МОП-транзистора, поскольку его критический размер ограничения скорости, длина затвора, лежал в горизонтальной, а не в вертикальной плоскости биполярных устройств.
Уменьшение размера ячейки DRAM с минимальным размером элемента (1985-2000)
Принципы масштабирования были описаны в статьях 1972 года Брюсом Хоенайзеном и Карвером Мидом из Калифорнийского технологического института, а также Робертом Деннардом и его коллегами из IBM. Но именно статья 1974 года Деннарда и др. привлекла внимание отрасли, оказав в результате глубокое влияние на микроэлектронику. Они отметили, что при масштабировании горизонтальных размеров транзистора в определенное число раз скорость увеличивалась в том же числе раз.
Изображение, полученное с помощью СЭМ, транзистора КМОП с размерами менее 100 нм
В то время, когда МОП-память IBM использовала минимальный размер в 5 микрон, они прогнозировали сокращение до долей микрона. (Человеческий волос имеет диаметр 50-100 микрон) Это была первая попытка связать сокращение геометрии с результирующим снижением мощности и улучшением производительности. Она дала «закону» Гордона Мура (1965 Milestone) научную основу.
Процессор Cell на 234 000 000 транзисторов для Playstation 3
В 1976 году MITI организовал Hitachi, NEC, Fujitsu, Mitsubishi и Toshiba в консорциум, Ассоциацию исследований технологий СБИС, которая приняла концепцию масштабирования и объединила ее с японскими оптическими и сверхчистыми производственными возможностями в глобальной гонке за поставку 64K DRAM (1970 Milestone) к концу десятилетия. Потребляемая мощность при таком большом количестве транзисторов ускорила принятие технологии КМОП. (1963 Milestone) Возможность масштабирования КМОП позволила уменьшить размеры до менее 100 нанометров (0,1 микрона) к 2006 году и поставлять такие чипы, как процессор IBM/Sony/Toshiba Cell с 234 миллионами транзисторов для Playstation 3.
